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沈阳机器人与智能制造 · 制造企业

芯源微

总部位于沈阳浑南区的科创板半导体设备制造企业，研发、生产和销售涂胶显影设备、单片式湿法设备及先进封装相关装备。2025年公司控制权变更为北方华创控股、北京电子控股实际控制的地方国企体系；本卡片仅整理公开的民用半导体制造装备业务。

企业公开身份

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

浑南区 · 地方国企

公开产品与能力

  • 前道涂胶显影设备
  • 前道单片清洗与湿法设备
  • 后道先进封装设备
  • 化合物半导体与小尺寸工艺设备

地区影响力依据

  • 沈阳市政府资料把芯源微与沈阳机床等列为机器人及智能制造集群的龙头企业，并将集成电路装备纳入该集群完整产业链。
  • 辽宁省政府公布的2026年先进级智能工厂名单纳入芯源微，法定披露和官网同时确认其沈阳总部、半导体设备研发制造及生产装配条件。

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