산업 클러스터 · 장비 제조

Nanchong Xichong 진공 장비는

진공 장비는 공기를 제거하는 것 이상입니다. 그것은 반도체 코팅, 열처리, 핵 일 또는 공간 가장을 위한 압력, 청결 및 가스 상태를 창조합니다. 펌프 세트 속도 및 궁극적인 압력, 약실 및 벨브는 경계를 붙들고, 통제는 국가를 결정합니다; Xichong는 체계로 이 부속을 통합합니다.

교육 및 행사

Jiutian은 환경 시뮬레이션 시스템, Yutian 공급 밸브, 챔버 및 표준 부품에 대한 경험을 쌓았으며 Zhongke Jiuwei는 건식 펌프 및 반도체 공정 장비에 뛰어 들었습니다. 현지 계획은 또한 계측 및 검사를 요구하며 "진공 밸리개념을 구성 요소, 시스템 및 테스트 역할로 전환합니다.

목표 압력은 시작에 불과합니다. 공정 가스, 아웃 가스, 입자, 오일 백스트림, 밸브 컨덕턴스 및 게이지 위치는 모두 챔버를 변경합니다. Xichong은 펌프, 챔버, 표준 부품 및 시스템을 갖추고 있어 최종 압력과 비교하기보다는 완전한 펌핑 경로를 따를 수 있습니다.

핵심지리: Duofu Industrial Park 및 Nanchong 장비 영역을 중심으로 건식 펌프, 밸브 및 표준 부품, 챔버, 측정 및 제어, 누출 테스트 및 환경 시뮬레이션 시스템을 결합한 진공 장비 네트워크

진공 타겟을 공정 챔버로 가져가는 5개의 스테이션

Xichong에서 펌프, 밸브, 챔버 및 게이지가 서로를 제약하는 방법

이 어플리케이션은 가스 부하와 청정도를 설정합니다. 챔버와 밸브는 경계를 설정하고, 펌프는 전도도를 통해 작동하며, 게이지와 컨트롤은 상태를 결정합니다. 누출 및 유지 보수 결과는 메인 펌프를 일반적으로 비난하는 대신 씰, 펌프 스테이지 또는 센서로 돌아갈 수 있습니다.

공정 압력 및 청결도 — 가스, 온도, 입자 및 사이클은 시스템 의무를 정의합니다.
챔버, 밸브 및 씰 — 양, 물자 및 누출 비율은 경계를 설치합니다.
황삭 및 고진공 펌프 — 펌프 유형, 단계 및 가스 부하가 펌핑 동작을 결정합니다.
측정, 제어 및 누출 테스트 — 계기 위치, 범위 및 내부고정기는 활동으로 압력을 돕니다.
코팅 및 시뮬레이션 스테이션 — 실제 공정은 가스 배출, 오염 및 사이클 타임을 노출시킵니다.

01 · 과정 의무는 압력 보다는 더 많은 것입니다

청결, 가스 부하, 온도 및 사이클은 진공을 정의합니다.

사용 가능한 진공은 특정 공정에 의해 정의되며 명판의 궁극적 인 압력으로 축소 될 수 없습니다. 반도체, 코팅, 열처리 및 환경 시뮬레이션은 다양한 청결도, 공정 가스, 재료 배출 및 펌프 다운 조건을 견딜 수 있으므로 저압에 도달하는 빈 챔버는 공작물로 실행할 수 있음을 증명하지 못합니다. Xichong 시스템 팀은 챔버, 펌프 트레인 및 측정 배열을 선택하기 전에 전체 사이클,로드 재료 및 허용 잔류 가스를 설명해야합니다. 설비, 씰 및 노출 된 가공 영역도 가스 부하 인벤토리에 속하며 공작물로 세척 및 사전 베이킹이 필요합니다. 로딩 배열이 노출 된 영역을 변경하면 펌프 다운 리듬이 변경됩니다.

빈 약실이 압력에 도달하고 그러나 견본이 들어간 후에 달릴 수 없을 때, 추가한 가스 짐 또는 가공 교류는 양수 균형을 따로따로 바꾸었습니다. 조사는 견본 물자, 약실 벽 온도, 가스 admission 시간 및 잔여 가스 변화를 맞추는 빈과 적재한 곡선을 비교합니다. 물 또는 유기 첨단이 견본으로 나타나는 경우에, 물자 outgassing 및 전처리는 주의될 가치가 있습니다; 압력 범위가 가스 입구, 유량 구성 및 펌프 용량 후에 실속되면 검토가 필요합니다.

시스템 듀티 시트는 공작물 재료, 청정도 요구 사항 및 허용 사이클을 포함하여 로딩, 펌프 다운, 보류, 가스 허용, 처리 및 배기가스를 순차적으로 나열합니다. 대표적인 공작물은 하나의 궁극적 인 압력 값으로 대체되지 않고 별도로 유지되는 빈로드 곡선, 잔류 가스 및 공정 측면 결과와 함께 전체 프로그램을 통해 실행됩니다. 챔버와 펌프 조합은 로드된 사이클이 지정된 시간 내에 공정 창에 일관되게 도달한 후에 적합합니다.

애플리케이션은 백스트림 및 입자를 다르게 허용합니다.

02 · 약실 물자는 outgas에 계속합니다

용접, 마무리 및 청소는 진공 경계를 결정합니다.

진공 챔버는 판, 용접, 플랜지 및 피드 스루로 공정 공간을 둘러싸며, 이러한 표면과 조인트는 펌프 다운 중에 가스를 방출하거나 허용 할 수 있습니다. 흡착 된 물과 세정 잔류물은 지속적인 가스 배출을 유발하며 용접 다공성은 대기와 통신 할 수 있으며 갇힌 볼륨은 천천히 가상 누출을 방출하는 것처럼 작동합니다. 기계적인 압력 완전성은 또한 통제되는 표면, 밀봉한 공용영역 및 bakeability를 요구하는 그러나, 구조상 경계를 설치합니다. 눈 먼 실을 구멍 및 층이 된 물개는 작은 가스 양을 또한 덫을 놓을 수 있습니다.

늦은 펌프 다운이 발생하면 베이킹 후 오염이 증가하거나 지역 헬륨 반응이 나타나 펌프 속도만으로 원인을 제거하는 경우는 거의 없습니다. 헬륨은 대기 경로를 찾고, 잔류 가스 스펙트럼은 물과 공정 잔류 물을 식별하며, 구역 난방은 어떤 표면이 가스를 방출하는지 보여줍니다. 이러한 관측값이 좌표를 갖게 되면, 팀은 서로 다른 메커니즘을 하나의 수리에 강제하지 않고 수리 용접, 씰 교정 또는 갱신된 청소를 선택할 수 있습니다.

챔버 재료, 용접 형태 및 피드스루 설계는 청정도 등급, 굽기 온도 및 세척 빈도를 따르며 제조 경로에 용접 후 처리가 포함됩니다. 헬륨 반응은 용접 영역 및 플랜지 좌표를 유지하면서 세척 전, 세척 후 및 굽기 동안 누출 속도, 펌프다운 곡선 및 잔류 가스 변화를 측정합니다. 진공 경계는 유지 보수 후 원래의 가스 부하 및 누출 률 반환하는 경우에만 제조 및 내구성이 있습니다.

두껍거나 강한 물자는 낮은 outgassing 및 cleanability를 대체할 수 없습니다.

03 · 밸브 및 배관 제한 유효 속도

컨덕턴스는 펌프 포트 성능을 챔버로 변환합니다.

챔버는 밸브, 팔꿈치, 직선 파이프 및 필터 배플을 통해 진공 펌프에 도달하며, 그 경로는 펌프 포트 용량을 공작물 근처의 효과적인 속도로 변환합니다. 더 작은 구멍, 더 긴 경로 또는 부분적으로 닫힌 밸브는 짧은 넓은 경로와 긴 좁은 경로의 차이로 전도성 손실을 증가시킵니다. 펌프 명판을 사용하여 시스템 성능을 직접 과대 평가하고 느린 압력 범위를 설명하지 않습니다. Xichong 시스템 설계가 배관 병목 현상을 그대로 두는 경우, 더 큰 메인 펌프는 비용과 부하 만 추가합니다.

더 큰 펌프가 펌프 다운을 거의 변경하지 않거나 하나의 압력 범위가 느린 경우, 펌핑 경로를 따라 압력을 비교해야 합니다. 파이프 크기, 밸브 위치, 유량 및 가스 부하 소스를 검토해야 하며, 관련 점도, 전이 또는 분자 유량이 확인되어야 합니다. 펌프 포트 및 챔버 압력, 밸브 상태 및 계산된 전도도를 비교하면 더 큰 펌프를 느린 펌프 다운에 대한 범용 응답으로 처리하는 대신 밸브, 긴 파이프 또는 실제 가스 부하의 제한을 찾습니다.

파이프 보어, 길이, 팔꿈치, 밸브 및 배플 먼저 펌프 작동 봉투 및 사용 가능한 설치 공간과 함께 선택한 대상 가스 흐름 및 압력 범위에 대한 크기입니다. 시운전은 펌프 포트, 메인 라인 및 챔버를 측정하여 단면 압력 강하, 밸브 위치 및 펌프 다운 곡선을 비교하여 지배적 인 손실을 찾습니다. 증가 명판 펌프 용량은 유효 속도가 사이클 의무를 충족하고 구조 병목 현상을 이해 한 후에 만 실용적인 의미를 갖습니다.

작은 구멍, 긴 파이프와 배플은 병목 현상을 만듭니다.

04 · 펌프 기차는 전체 압력 범위를 커버

황삭, 건식 및 고진공 펌프는 다양한 범위를 커버합니다.

진공 트레인은 일반적으로 서로 다른 압력 범위에 걸쳐 배압 펌프, 부스터 및 고진공 스테이지를 결합하며, 각각은 적합한 입구 조건에서만 안정적입니다. 너무 일찍 전환하면 다운스트림 스테이지에 과부하가 발생하고 너무 늦게 전환하면 사이클이 길어지며 배기 압력이 낮아질 수 있습니다. 가공 가스, 먼지 및 부식은 온도, 정리 및 배출 상태를 바꾸는 것을 계속합니다, 그래서 빈 궁극적인 압력은 지속적인 생산을 대표할 수 없습니다. 완전한 체계는 개시, 인도, 폐쇄 및 이상한 회복을 함께 기술해야 합니다.

단계간 하중 초과, 열, 반전 교류 또는 예금이 나타날 때, 원인은 1개의 펌프 단계에 손상 보다는 오히려 엇바꾸기 논리에서 속일지도 모릅니다. 엔지니어는 사건이 인도 전후에 시작했다는 것을 보기 위하여 현재 온도 동향을 가진 스위치 압력, 역행 수용량, 퍼지 및 배출 역압을 맞춥니다. 인레트 압력 소풍은 빈약한 엇바꾸기 타이밍을 가르킵니다, 그러나 배출 저항에 있는 점차적인 상승은 예금 또는 배관으로 더 일관됩니다.

공정 가스, 입자 부하 및 목표 압력은 중간 단계 보호 및 퍼지를 포함한 배압, 부스터 또는 고진공 펌프의 조합을 결정합니다. 모든 단계에서 전류, 온도, 입구 압력 및 배기 조건을 동기화하면서 통합 테스트가 시작, 안정적인 처리, 정상적인 종료 및 비정상적인 복구를 포함합니다. 이 열차는 인계가 과부하, 오염 역류 또는 통제되지 않는 압력을 발생시킬 때 전체 사이클 기능을 갖추고 있습니다.

단계 전환 및 공정 가스가 조합을 결정합니다.

05 · 건식 펌프는 여전히 부산물 관리

오일 프리는 부식, 먼지 또는 응축에 대한 면역성을 의미하지 않습니다.

건식 진공 펌프는 펌핑 챔버에서 오일을 유지하지만 부식성 가스, 먼지, 폴리머 및 응축 된 부산물과 직접 접촉합니다. 이러한 재료는 로터 클리어런스, 온도 영역 및 배기 저항을 변경하여 점차 전류를 발생 시키거나 속도를 줄이거 나 서비스 간격을 단축 할 수 있으며 그 중 어느 것도 깨끗한 공기 성능으로 표현되지 않습니다. 펌프 유형, 재료, 퍼지 및 온도 제어는 공정 레시피를 따라야하며 서비스 중 보증금 검사를 통해 확인되어야합니다. 차가운 배기 섹션에서의 응축은 펌프 챔버 외부에서 막힘을 일으킬 수 있습니다.

펌프 현재가 점차적으로 상승할 때, 배출 구획 또는 서비스 간격은 마지막 경보의 앞에, 동향 보통 나타납니다. 가동 시간은 퍼지 교류의 앞에 가공 조리법으로 맞추어집니다, 온도 지역 및 pumpdown 시간은 비교되고, 분해는 약실, 배출 또는 찬 끝에 있는 예금을 찾아냅니다. 특정 제조법이 퍼지 또는 온도 변화에 반응할 수 있는 반면, 균일한 시간 기반 부담은 다른 세척 간격을 요구합니다.

내부 재료, 퍼지 흐름 및 온도 영역은 공정 가스 및 예상 침전물 위치에서 설정되며 배기 라인에서 응축을 측정합니다. 대표적인 제조법은 침전물이 계량되고 분해되기 전에 계획된 서비스 간격, 추세 전류, 온도 및 펌프 다운 시간을 통해 실행됩니다. 건식 펌프 구성은 성능 저하 및 청소 간격이 모두 예측 가능한 경우 생산 리듬에 적합합니다.

숙청, 온도 및 청소 주기는 가공 윤곽입니다.

06 · 계기 위치는 독서를 결정합니다

범위, 가스 감도 및 위치는 압력 해석에 영향을 미칩니다.

거친 진공에서 높은 진공에 측정은 1개의 계기가 드물게 전체 경간을 덮기 때문에, 범위의 맞은편에 수교하기 위하여 다른 육체적인 원리를 가진 계기를 요구합니다. 가스 종, 오염 및 온도는 감도를, 그러나 위치 및 벨브 국가 창조합니다 국부적으로 압력 다름을 바꿉니다, 그래서 제어기 수는 제품의 가까이에 조건을 같게 하지 않을지도 모릅니다. 게이지 유형은 겹치는 부분에 동의해야 하며, 중요한 측정 지점은 실제 제어 목적에 부합해야 합니다.

2개의 계기가 갈라지거나 가공 결과가 표시된 압력에 의견이 맞지 않는 경우에, 어느것이건 계기 일치 기대가 단지 다름을 숨기는지 선택. 기준 계기는 첫째로 오버랩을 검사하고, 그 후에 벨브 위치 및 교류는 탈선이 1개의 계기 또는 1 위치로 남아 있다는 것을 보기 위하여 바뀝니다. 제조 방법에 따라 가스 민감도 교정, 교정 또는 오염에 대한 고정 제로 드리프트 포인트, 그리고 지역 압력 차이가 배관에 대한 관심을 반환해야 할 수 있습니다.

게이지 범위와 물리적 원리는 제어 목표를 따르며, 주요 포인트는 공정 영역 근처이지만 무거운 증착 또는 강력한 국부 압력 강하에서 멀리 떨어져 있습니다. 겹치는 범위는 기준 게이지와 비교되며, 가스 보정, 교정 날짜 및 청소 기록은 장비 ID 및 인터록과 연결되어 있습니다. 판독값은 밸브와 펌프를 일관되게 구동하고 공작물 상태를 설명하는 신뢰할 수 있는 제어 변수가 됩니다.

표시된 값은 공작물 근처의 상태와 동일하지 않을 수 있습니다.

07 · 누출 테스트는 누출과 가스 배출을 분리합니다.

헬륨 테스트, 보류 및 상승 테스트는 다양한 질문에 답합니다.

진공 경계는 용접, 씰, 스템 또는 피드 스루를 통해 대기와 통신 할 수 있지만 재료 배출 및 갇히는 볼륨도 압력을 높입니다. 외부 누출에는 실제 경로가 있으며 가상 누출은 밀폐 된 공간에서 발생하며 표면 배출은 청소 및 온도에 반응하여 다른 치료법이 필요합니다. 헬륨 테스트, 압력 상승 작업 및 잔류 가스 분석은 각각 위치, 방출률 및 가스 구성을 검사하므로 한 가지 결과가 전체 진단을 대체 할 수 없습니다. 약한 씰 압축 경로는 재료 표면에서의 느린 방출과 동일한 현상이 아닙니다.

불안정한 파악 압력, 국부적으로 헬륨 응답 또는 이상한 포스트 빵 압력은 응답 속도 및 온도 의존에 의해 첫째로 분리될 수 있습니다. 국부적으로 헬륨이 동일한 경로를 통해서 반복적으로 첨단을 창조하는 경우에, 외부 누출은 확률이 높습니다; 어울리는 가스 스펙트럼을 가진 가열 후에 느린 방출은 덫을 놓은 양 또는 표면에 주의를 지시합니다. 일단 분류되면, 팀은 영향을 받은 플랜지를 조이거나, 가상 볼륨을 열거나, 전체 챔버를 무분별하게 재작업하지 않고도 재정화할 수 있습니다.

누출 계획은 챔버 구조에 따라 용접, 플랜지, 스템 및 피드 스루를 분할하여 각 구역에 방법 및 허용 속도를 할당합니다. 조립 중에 청소 및 굽기, 헬륨 응답, 압력 상승 및 잔류 가스 구성이 함께 사용되며 모든 분해가 영향을받는 좌표로 검사를 반환합니다. 수리는 변칙이 외부 누출, 갇힌 볼륨의 가상 누출 또는 물질 배출로 분리 된 후 올바른 위치에 도달합니다.

하나의 방법은 모든 누수 소스를 커버 할 수 없습니다.

08 · 애플리케이션 사이클은 유지보수 설계를 결정합니다.

코팅 예금, 물개 노후화 및 펌프 오염은 축적됩니다.

진공 장비는 각 공정 후에 배출, 개구, 세척 및 펌프가 다시 발생하지만, 침전물, 씰 압축 및 펌프 부산물은 사이클과 함께 축적됩니다. 초기 수용은 새로운 기계 상태를 설명하고, 몇 달 후 펌프 다운, 입자 및 청결은 유지 보수가 중요한 인터페이스를 복원하는지 여부에 따라 달라집니다. 따라서 도달 가능한 청소 영역, 반복 가능한 재조립 데이터 및 실제 교체 시간은 배송 후 추가되는 문제가 아니라 시스템 기능의 일부입니다.

펌프다운이 느려지거나 입자가 증가하거나 서비스가 베이스라인을 복원하지 못할 경우, 변화는 누적된 사이클 및 최신 작업과 일치해야 합니다. 베이스라인 곡선은 성능이 저하되었을 때 표시되며, 누수율 검사는 인터페이스를 검사하고 공정 결함 추세는 청결도가 제품에 도달했는지 여부를 나타냅니다. 재조립 후 갑작스런 편차는 서비스 수정을 요구하는 반면, 침전물과 함께 점진적인 움직임은 청소 창과 마모 부품 간격을 통해 더 잘 해결됩니다.

설계 과정에서 공구 접근은 챔버 청소, 펌프 제거, 게이지 교정 및 마모 씰 교체를 위해 지정됩니다. 시운전 후, 모든 계획된 서비스에는 펌프 다운, 누출률, 청결 및 작업 전후의 제품 결함을 비교하는 동일한 대표 사이클이 뒤따릅니다. 유지 보수 배치는 시스템이 허용 된 가동 중지 시간 내에 기준선을 복구 할 때 장비 수명과 안정적인 생산을 지원합니다.

유지 보수는 시스템 능력의 일부입니다.

소스 및 읽기 노트

공정 압력, 청정도, 가스 부하 및 사이클 시간에서 시작하여 챔버 부피, 누출률, 전도도, 펌프, 게이지 및 제어를 검사합니다. 반도체, 코팅, 핵 및 우주 시뮬레이션 업무에는 서로 다른 재료와 안전 경계가 필요하며 "고진공이라는 문구로 선택할 수 없습니다.

도시 산업 검토는 국가 클러스터 및 건조 펌프 및 환경 시뮬레이션 방향을 확인합니다.
카운티 보고서는 Jiutian과 Yutian과 그들의 밸브, 챔버 및 장비를 지명합니다.
장비 계획은 PVD 및 CVD 진공 장비와 계측 및 검사를 식별합니다.
지방 기업 목록은 Sichuan Jiutian Vacuum Technology의 법적 이름을 확인합니다.

소스

원 출판기관을 통해 날짜, 범위와 정의를 확인한다. 공개 자료는 거래를 보장하지 않는다.

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